奕瑞印象请求用于植球的晶圆载具及办法专利进步工艺的稳定性和可靠性

  金融界2024年11月11日音讯，国家知识产权局信息数据显现，奕瑞印象科技（太仓）有限公司请求一项名为“种用于植球的晶圆载具及办法”的专利，公开号CN 118919473 A，请求日期为2024年7月。

  专利摘要显现，本发明供给一种用于植球的晶圆载具及办法，晶圆载具包含植球治具、翻转治具和固定治具，植球治具和翻转治具用于装载待植球晶圆，固定治具用于将待植球晶圆固定在焊线机上。在使用本发明供给的晶圆载具进行植球时，先将晶圆切割成半圆形的待植球晶圆，再将待植球晶圆装载在晶圆载具中进行植球，一方面，避免了整片晶圆在拿取进程中有可能会呈现的破片的问题，进步了工艺的稳定性和可靠性；另一方面，植球完成后再将其切割成多个单粒芯片，处理了单个芯片植球进程中无法吸住芯片的问题，保证了芯片在植球进程中的安全性。