金融界9月6日音讯,有投入资金的人在互动渠道向微导纳米发问:您好,请问公司ALD设备在FAB厂商的验证和使用情况如何,半导体范畴的在手订单中有多少是ALD,有多少是CVD的。
公司答复表明:公司是国内首家成功将量产型High-k原子层堆积(ALD)设备使用于集成电路制作前道生产线的国产设备厂商,ALD产品既有批量型也有单片型,单片型ALD设备已获得多种工艺设备的重复订单并获得部分客户的检验;批量型ALD已获得客户检验,完成产业化使用,并获得重复订单。公司在坚持ALD设备身先士卒的优势的一起,加快推行CVD产品,该系列部分产品在2023年7月首台设备出货后,现在现已获得客户批量重复订单,客户端验证顺畅。
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