Semens打破日本TEL独占！完成ArF-i Track设备自主化出产

  CINNO Research工业资讯，三星电子的子公司、韩国最大的半导体设备企业Semens完成一向依靠进口的曝光加工用Track设备的韩国国产化。据悉三星电子每年将投入数千亿韩元购买该设备，估计代替作用巨大。

  Semens公司6月24日表明，公司在韩国初次开宣布半导体ArF-i曝光工艺用Track设备“Omega Prime”，继上一年量产1号机出货后，本年开端出产2号机。

  Track是在半导体制作的完好进程中，为了在芯片上构成微电路（图画），均匀地涂布感光液（PR:Photo Resist），在曝光器上照耀光线后再闪现的设备。

  一向以来，Semens一向出产用于KrF的Track设备。为了应对光源波长线宽变短的高性能曝光机，公司还开发了ArF-i设备。

  ArF-I Track设备现在由日本最大的半导体设备企业东京电子（TEL）占有90%以上的商场占有率，根本完成独占。

  ArF-I Track设备要求高纯度、高出产率和高精度。Semens为消除涂布与显像进程单元的调整误差，开发并应用了烘烤温度固定，喷嘴调理等主动化体系。此外还装备了视觉监控功用体系、烘烤主动修正等技能。

  Semens首席技能官崔吉贤表明:“半导体中心工艺设备Omega Prime的开发将对往后的进口代替作用发生很大的影响。往后将继续推出以高的附加价值为中心的共同和差异化的设备，生长为技能创新企业”。

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